Dinaminės skenavimo optinės sistemos optika: 1 vnt. mažo fokusavimo lęšis, 1–2 vnt. fokusavimo lęšis, Galvo veidrodis. Visas optinis lęšis sudaro spindulio plėtimosi, fokusavimo, spindulio nukreipimo ir skenavimo funkciją.
Besiplečianti dalis yra neigiamas lęšis, t. y. mažo fokusavimo lęšis, kuris realizuoja spindulio plėtimą ir judantį priartinimą, fokusavimo lęšis sudarytas iš teigiamų lęšių grupės. Galvo veidrodis yra veidrodis galvanometro sistemoje.
(1) Lęšio konstrukcijos optimizavimas: optimalus skersmens ir storio santykis
(2) Didelio objektyvo pažeidimo slenkstis: > 30J/cm2 10 ns
(3) Itin mažos sugerties danga, sugerties greitis: <20 ppm
(4) Galvanometro storio ir skersmens santykis: 1:35
(5) Objektyvo paviršiaus tikslumas: <= λ/5
Postobjektyvinis lęšis
Maksimalus įėjimo vyzdys (mm) | 1 optikos skersmuo (mm) | Optika 2 Skersmuo (mm) | Optika 3 Skersmuo (mm) | Skenavimo laukas (mm) | Skaidri diafragma Skenerio skersmuo (mm) | Bangos ilgis |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 µm |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030–1090 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflektorius Veidrodis
Dalies aprašymas | Skersmuo (mm) | Storis (mm) | Medžiaga | Danga |
Silicio reflektorius | 25.4 | 3 | Silicis | HR@10.6um,AOI: 45° |
Silicio reflektorius | 30 | 4 | Silicis | HR@10.6um,AOI: 45° |
Pluošto reflektorius | 25.4 | 6.35 | Lydytas silicio dioksidas | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
Pluošto reflektorius | 30 | 5 | Lydytas silicio dioksidas | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
Pluošto reflektorius | 50 | 10 | Lydytas silicio dioksidas | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
532 Reflektorius | 25.4 | 6 | Lydytas silicio dioksidas | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Reflektorius | 25.4 | 6.35 | Lydytas silicio dioksidas | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Reflektorius | 30 | 5 | Lydytas silicio dioksidas | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Reflektorius | 50 | 10 | Lydytas silicio dioksidas | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
355 Reflektorius | 25.4 | 6 | Lydytas silicio dioksidas | HR@355nm ir 433nm, AOI: 45° |
355 Reflektorius | 25.4 | 6.35 | Lydytas silicio dioksidas | HR@355nm ir 433nm, AOI: 45° |
355 Reflektorius | 25.4 | 10 | Lydytas silicio dioksidas | HR@355nm ir 433nm, AOI: 45° |
355 Reflektorius | 30 | 5 | Lydytas silicio dioksidas | HR@355nm ir 433nm, AOI: 45° |
Galvo veidrodis
Dalies aprašymas | Maksimalus įėjimo vyzdys (mm) | Medžiaga | Danga | Bangos ilgis |
55 mm ilgio * 35 mm pločio * 3,5 mm skersmens skersmens 62 mm ilgio * 43 mm pločio * 3,5 mm gylio | 30 | Silicis | MMR@10.6um | 10,6 µm |
55 mm ilgio * 35 mm pločio * 3,5 mm skersmens skersmens 62 mm ilgio * 43 mm pločio * 3,5 mm gylio | 30 | Lydytas silicio dioksidas | HR@1030–1090 nm | 1030–1090 nm |
55 mm ilgio * 35 mm pločio * 3,5 mm skersmens skersmens 62 mm ilgio * 43 mm pločio * 3,5 mm gylio | 30 | Lydytas silicio dioksidas | HR@532nm | 532 nm |
55 mm ilgio * 35 mm pločio * 3,5 mm skersmens skersmens 62 mm ilgio * 43 mm pločio * 3,5 mm gylio | 30 | Lydytas silicio dioksidas | HR@355nm | 355 nm |
Apsauginis lęšis
Skersmuo (mm) | Storis (mm) | Medžiaga | Danga |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |